設備紹介
検査設備 詳細
三次元測定器・表面粗さ測定器・
膜厚計・ヘリウムリークディテクターのご紹介
三次元測定器
表面粗さ測定器
膜厚計・ヘリウムリークディテクター
三次元測定器
三次元測定器
| 機 種 | 型 式 | メーカー | 台 数 | 精 度 | 能 力 |
|---|---|---|---|---|---|
| 三次元 測定器 | CRYSTA-APEX S9106 | ミツトヨ | 1 | 空間：(2.2+3L/1000)μm | 900×1000×600 |
| CRYSTA-APEX C9106 | ミツトヨ | 1 | 空間：(2.9+4L/1000)μm | 905×1005×605 | |
| Brlght Apex 910 | ミツトヨ | 2 | 空間：(3.9+4L/1000)μm | 905×1005×605 | |
| Brlght 504 | ミツトヨ | 1 | 空間：(2.9+4L/1000)μm | 500×400×400 | |
| BH 504 | ミツトヨ | 1 | 空間：(4+5L/1000)μm | 500×400×300 | |
| CRYSTA-APEX S122010 | ミツトヨ | 2 | 空間：(2.8+4L/1000)μm | 1200×1200×1000 |
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表面粗さ測定器
表面粗さ測定器
| 機 種 | 型 式 | メーカー | 台 数 | 測定範囲 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 表面粗さ測定器 | MST-301 | ミツトヨ | 1 | X軸 12.5mm × Z軸 350μm(-200～150μm2) | |
| SJ-210 | ミツトヨ | 2 | X軸 21mm × Z軸 350μm(-200～150μm2) | ||
| SJ-310 | ミツトヨ | 1 | X軸 21mm × Z軸 360μm(-200～150μm2) | ||
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膜厚計・ヘリウムリークディテクター
膜厚計
| 機 種 | 膜厚計フィッシャ－ |
|---|---|
| 型 式 | 渦電流方式MP2C |
| メーカー | フィッシャー |
| 台 数 | 2 |
| 精 度 | ±1%±1μm |
| 能 力 | 1μm単位(≧10μm) 0.1μm単位(<10μm) |
ヘリウムリークディテクター
| 機 種 | 型 式 | メーカー | 台 数 | 精 度 |
|---|---|---|---|---|
| リ－クディテクタ－ | UL 200 | ライボルト | 1 | 測定範囲（1×10-11 to 1×10-1） |
| L300i | インフィコン | 1 | 最小分解能力（5×10-12mdar1/s) |
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